最高重複精度和優(yōu)異產(chǎn)能,實(shí)證符合公制01005零件的生產(chǎn)要求
優(yōu)異的散熱性能,降低對制程和周?chē)h(huán)境的影響
“無(wú)限”升級可能,豐富的功能選項滿(mǎn)足用戶(hù)的各種需求
提供多樣化的傳輸系統,帶來(lái)最優(yōu)化的可靠的基板傳輸
振蕩擦拭系統,可改善鋼/網(wǎng)板擦拭,提升30%擦拭速度
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